Les bases en granit à coussin d'air offrent un support sans friction et ultra-stable pour les systèmes de mouvement de haute-précision, améliorant ainsi la précision de positionnement, la répétabilité et l'amortissement des vibrations. Les bases en granit à coussin d'air UNPARALLELED® sont conçues pour prendre en charge les équipements semi-conducteurs, optiques et d'automatisation nécessitant un contrôle de mouvement au niveau nanométrique- et une stabilité extrême du système.
Qu'est-ce qu'une base de granit à coussin d'air ?
Unbase de granit à coussin d'aircombine la stabilité du granit de précision avec la technologie des coussinets d'air, qui suspend les composants en mouvement sur une fine couche d'air sous pression. Cela élimine le contact mécanique, réduisant ainsi la friction, l'usure et les vibrations tout en permettant un mouvement à grande-vitesse et haute-précision.
Pourquoi un mouvement sans friction est-il important ?
La friction introduit des erreurs non-linéaires, de l'usure et de la chaleur dans les systèmes en mouvement. En utilisant des coussinets à air sur un socle en granit :
Le mouvement est fluide et reproductible
L'usure est éliminée
Les performances du système sont maintenues dans le temps
Les bases à coussin d'air UNPARALLELED® maximisent la précision des mouvements pour les applications d'ultra-précision.
Comment le granit soutient-il la stabilité ?
Le granit offre stabilité dimensionnelle, amortissement des vibrations et rigidité. Lorsqu'il est associé à des coussinets à air :
La dérive thermique est minimisée
Les vibrations sont absorbées naturellement
Les erreurs de mouvement à haute-fréquence sont réduites
Cette combinaison garantit une précision de positionnement au niveau nanométrique dans les MMT, les platines optiques et les systèmes d'inspection des semi-conducteurs.
Roulement à air vs bases de roulement traditionnelles
| Fonctionnalité | Base de granit à roulement à air | Base à roulement à billes/glissière | Base en fonte |
|---|---|---|---|
| Friction | Près de zéro | Modéré | Modéré |
| Porter | Minimal | Modéré | Haut |
| Amortissement des vibrations | Excellent | Équitable | Modéré |
| Stabilité thermique | Excellent | Modéré | Modéré |
| Répétabilité | Nanomètre-Niveau | Micron-Niveau | Micron-Niveau |
| Entretien | Faible | Modéré | Haut |
| Durée de vie | 20+ ans | 5 à 10 ans | 10 à 15 ans |
Quelles applications en profitent le plus ?
Inspection des plaquettes de semi-conducteurs
Étapes de lithographie
Interférométrie optique
Automatisation d'ultra-précision
Mesure de haute-précision sur MMT
FAQ
Qu'est-ce qu'une base de granit à coussin d'air ?
Il s'agit d'une plate-forme en granit dotée de roulements à air permettant un mouvement sans friction et de haute-précision.
Pourquoi combiner le granit avec des coussinets d'air ?
Le granit offre rigidité et stabilité, tandis que les coussinets d'air éliminent la friction et l'usure.
Ces bases peuvent-elles atteindre une répétabilité au niveau nanométrique ?
Oui, les bases UNPARALLELED® correctement conçues prennent en charge les mouvements au niveau nanométrique-.
Les bases en granit à coussin d'air sont-elles adaptées aux mouvements à grande vitesse ?
Oui, les coussinets à air permettent un mouvement fluide, à grande vitesse-avec un minimum d'erreurs.
Nécessitent-ils un entretien ?
Un entretien minimal est requis, principalement pour l’alimentation en air et la propreté.
Quelles industries utilisent des bases de granit à coussin d’air ?
Semi-conducteurs, optique, automatisation de précision, métrologie et fabrication d'ultra-précision.