De nombreux écarts de mesure dans les stations d’inspection de précision ne proviennent pas d’une précision insuffisante des lentilles d’inspection ou des capteurs, mais de micro-vibrations continues à basse fréquence transmises depuis l’usine. Le fonctionnement du compresseur d'air, le démarrage et l'arrêt des machines environnantes et le mouvement des piétons génèrent tous de telles vibrations à basse fréquence. L'amplitude est infime mais continue, perturbant la référence de mesure à plusieurs reprises et provoquant des données incohérentes pour plusieurs tests sur la même pièce. Pour l’inspection optique des semi-conducteurs et la mesure dimensionnelle de précision, la répétabilité des données constitue l’indicateur principal pour juger de la fiabilité des équipements. Les plates-formes métalliques ordinaires présentent une rigidité élevée mais un faible amortissement. Une fois que les vibrations basse fréquence pénètrent dans la table, elles oscillent pendant une longue période sans atténuation rapide et amplifie directement les fluctuations de mesure. UNPARALLELED Group fabrique des plateaux de table de précision à partir de granit noir UNPARALLELED®. Il utilise la propriété d'amortissement naturelle du matériau pour bloquer la transmission des vibrations basse fréquence et conserver des résultats cohérents pour des mesures répétées.
Les vibrations basse fréquence dans les ateliers sont principalement transmises vers le haut à travers les fondations et font partie des interférences environnementales les plus difficiles à isoler. Les plateaux de table en métal et en alliage d'aluminium absorbent à peine les vibrations ; l'énergie vibratoire se répercute continuellement sur la surface de la table. La structure cristalline dense à l’intérieur du granit haute densité consomme de l’énergie cinétique de vibration, dissipant rapidement l’énergie de vibration basse fréquence et supprimant la propagation continue des vibrations. Le substrat adopte du granit noir avec une densité d'environ 3 100 kg/m³ et un faible coefficient de dilatation thermique, de sorte que la déformation induite par les fluctuations de température est minime. La pierre brute subit un vieillissement en vrac au stade de la matière première pour libérer les contraintes natives accumulées lors de l'extraction et du transport. Même en cas de perturbations basses fréquences continues à long terme, la forme de référence du plateau de table ne se déformera pas lentement au fil du temps, garantissant ainsi la stabilité à long terme des performances d'amortissement des vibrations et de la précision géométrique.
Dès la conception des structures, les ingénieurs réalisent une analyse modale combinée aux conditions de terrain pour éviter la bande d'excitation basse fréquence des ateliers et prévenir les risques de résonance. La résonance peut multiplier les faibles vibrations basse fréquence du sol et détruire complètement la répétabilité des mesures. Sur la base des données des tests de vibration sur site des clients, nous optimisons l'épaisseur du plateau et la disposition des points de support afin de répartir la force apportée par les vibrations externes. Un usinage de trous topologiques légers et personnalisés est disponible. Tout en gardant la rigidité globale inchangée, il ajuste la fréquence naturelle du plateau pour rester à l'écart de la plage de vibrations basse fréquence des ateliers. Le système de support de table peut également être équipé de composants de réduction des vibrations adaptés pour former une double structure d'isolation des vibrations et affaiblir davantage la transmission vers le haut des vibrations basse fréquence du sol, ce qui convient aux usines présentant de fortes interférences vibratoires sous-jacentes.
L'ensemble du processus de finition est réalisé dans un atelier à température constante, humidité constante et anti-vibration. Le sol de l'atelier est plus épais que 1 000 mm, équipé de tranchées indépendantes résistantes aux chocs et de ponts roulants silencieux pour empêcher les vibrations externes d'introduire des erreurs de topographie de surface pendant le meulage. La technologie de vieillissement par étapes est adoptée dans le traitement. Après chaque cycle de meulage, la pièce est maintenue statique pour libérer les contraintes d'usinage et éviter l'accumulation de contraintes à l'intérieur de la pierre. Après la fabrication, des tests spéciaux de réponse modale et vibratoire sont effectués pour simuler une excitation de vibration basse fréquence de longue durée dans les ateliers, collecter des données d'atténuation des vibrations et évaluer l'effet de suppression du plateau sur les vibrations basse fréquence. Nous utilisons des interféromètres laser, des comparateurs Mahr 0,5 μm et des niveaux électroniques Swiss WYLER pour l'inspection. L'ensemble de la chaîne métrologique est traçable jusqu'à l'institut national de métrologie avec des certificats d'étalonnage complets.
Pour les conditions de travail en salle blanche, le plateau de table peut être traité avec scellement, passivation et polissage miroir pour sceller les micropores de la pierre et réduire la précipitation des particules. Il répond aux exigences des salles blanches tout en isolant les vibrations. Cette solution ne repose pas simplement sur le poids propre pour la suppression des vibrations. Il s’agit plutôt d’une solution intégrée de réduction des vibrations combinant les matériaux, la structure, le contrôle des contraintes et la vérification des vibrations avant livraison.
Pour les équipements d’inspection de précision, la répétabilité des mesures détermine directement le rendement du produit et la fiabilité du jugement d’inspection. Les vibrations externes basse fréquence sont cachées et continues. Son impact peut difficilement être détecté en une seule mesure, et la dispersion des données ne peut être révélée qu’après plusieurs tests d’échantillonnage. Avec une excellente capacité de dissipation d’énergie, les plateaux en granit UNPARALLELED bloquent efficacement les micro-vibrations basse fréquence dans les ateliers et stabilisent les repères de mesure. Il maintient la fluctuation des données des mesures répétées dans une plage extrêmement réduite et fournit des bases de mesure stables et fiables pour tous les types d'équipements d'inspection de haute précision.