Base de table rotative en granit

Base de table rotative en granit

Fondations de mouvement sub-microniques conçues pour l'inspection et la métrologie des plaquettes de semi-conducteurs. Dans la fabrication sub-micronique et la lithographie des semi-conducteurs, le broutage mécanique et la dérive micro-thermique détruisent le rendement. Systèmes modernes d'inspection de plaquettes à haute-accélération, étapes d'alignement optique et...
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UNPARALLELED LTD est l’un des principaux fabricants et fournisseurs de bases de table rotative en granit en Chine. Avec une expérience abondante, nous vous invitons chaleureusement à acheter ici une base de table rotative en granit avancée fabriquée en Chine dans notre usine. Nous acceptons également les commandes personnalisées.

 

Fondations de mouvement sub-microniques conçues pour l'inspection et la métrologie des plaquettes de semi-conducteurs

Dans la fabrication sub-micronique et la lithographie de semi-conducteurs, le broutage mécanique et la dérive micro-thermique détruisent le rendement. Les systèmes modernes d'inspection de plaquettes à haute-accélération, les étages d'alignement optique et les systèmes rotatifs à coussin d'air-exigent des bases structurelles qui restent complètement inertes sous des contraintes opérationnelles dynamiques.

Cette base de table rotative en granit de ultra-précision personnalisée offre une stabilité dimensionnelle absolue pour les machines automatisées-nouvelle génération. Dotée d'un granit noir UNPARALLELED® à haute densité-à grains fins-, d'une marche de précision circulaire encastrée et d'inserts filetés en acier inoxydable 316 en pot en usine-disposés selon un motif radial de précision, cette structure fournit une base inflexible et non-magnétique pour les platines rotatives à air-et les outils de métrologie optique de haute-précision.

Spécifications techniques

Fonctionnalité d'ingénierie Détail des spécifications Avantage OEM
Matériau primaire UNPARALLELED® Granit noir naturel haute-densité Zéro contrainte mécanique interne ; stress géologique-soulagé
Précision de planéité Sub-micron de qualité 000 (DIN 876/ASME B89.3.7) Garantit la stabilité de la hauteur de vol-pour les coussinets d'air de 5 à 10 µm
Densité (ρ) ≈ 3100 kg/m³ Masse thermique supérieure et filtrage physique des vibrations passe-bas-
Coeff. de dilatation thermique ( ) 4.5 × 10⁻⁶/K Stabilité thermique isotrope sous des charges de puissance moteur élevées
Finition de surface (Ra) Inférieur ou égal à 0,2 µm (Micro-Diamond Roded) Faible frottement ; topographie sans-essorage
Inserts filetés Acier inoxydable 316 (enrobé d'époxy structurel) Haute résistance à l'arrachement-sans augmentation des contraintes dans la pierre
Propriété magnétique 100 % non-magnétique et non-conducteur Interférence d'hystérésis nulle avec les échelles de codeur linéaire

contrôle de qualité

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Avantages fondamentaux de l'ingénierie

  • Amortissement logarithmique supérieur :Le granit naturel convertit les vibrations cinétiques dynamiques en chaleur de micro-friction interne 3 à 5 fois plus rapidement que la fonte grise, réduisant ainsi le temps de stabilisation lors des cycles d'accélération de rotation rapides.
  • Immunité à la distorsion thermique :Avec un faible coefficient de dilatation thermique de 4,5 × 10⁻⁶/K, cette plate-forme résiste à la déformation causée par la chaleur localisée du moteur lors d'un fonctionnement continu sur plusieurs équipes-.
  • Zéro bavure et résistance à l'usure-Dureté résistante :Évalué de 6 à 7 sur l'échelle de dureté de Mohs, le granit se fracture proprement vers le bas s'il est accidentellement entaillé -, éliminant les bavures métalliques surélevées qui effondrent les interstices du film de roulement à air.
  • Personnalisation OEM sur mesure :Fabriqué selon des dessins techniques précis avec des modèles d'insertion personnalisés, des fentes pour canaux d'aspiration, des trous de passage de câble-et des étapes de montage spécialisées.

Scénarios d'application-réels

Inspection des plaquettes de semi-conducteurs et étapes AOI

Sert de base structurelle stationnaire pour les mandrins de rotation de plaquettes à grande vitesse-, les étapes d'inspection optique automatisée (AOI) et les-plates-formes de métrologie par faisceau électronique nécessitant une neutralité électromagnétique absolue.

Tables rotatives à roulement à air de précision

Fournit la surface de contact micro-plate et résistante à l'usure-nécessaire pour les broches à roulement à air poreux en carbone et en aluminium, offrant une rotation sans friction avec des erreurs d'oscillation inférieures à-secondes d'arc.

Plateformes d'alignement optique et d'interférométrie laser

Offre une base rigide-amortie en vibrations pour les outils d'alignement laser multi-axes, les têtes de traitement laser picoseconde et les tables rotatives CMM.

services

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FAQ

Q : Pourquoi choisir le granit noir naturel plutôt que le béton polymère synthétique ou le moulage minéral pour les étages rotatifs ?

R : Alors que la fonte minérale offre un bon amortissement, le granit noir naturel offre un module d'élasticité (80 à 100 GPa) et une densité (≈ 3 100 kg/m³) nettement plus élevés. Cela garantit une rigidité statique plus élevée et permet aux maîtres techniciens de micro-faire des surfaces manuellement jusqu'à une planéité de niveau nanométrique--quelque chose que la coulée minérale non usinée ne peut pas atteindre de manière native.

Q : Comment les inserts filetés sont-ils fixés dans la base en granit sans provoquer de fractures de contrainte ?

R : Nous perçons des trous de montage contre-alésés et lions des inserts de précision en acier inoxydable 316 à l'aide d'époxy structurel à fort-cisaillement et faible-retrait. Les profondeurs d'insertion sont égales à au moins 2,5 fois le diamètre du boulon, garantissant une force d'extraction maximale-sans risquer de micro-fissures dans la matrice de granit.

Q : Cette plate-forme rotative peut-elle être personnalisée pour des dimensions de machine non-standard ?

R : Oui. Groupe UNPARALLELED se spécialise dans les composants structurels 100% personnalisés. Nous usinons des géométries complexes, des évidements de poches, des passages à vide et des matrices d'inserts de précision directement à partir de vos fichiers CAO.

certificats

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Accélérez le développement de votre plate-forme sub-micronique

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Site Web : www.unparalleled-group.com

E-mail d'ingénierie : Info@unparalleled-group.com

Devis personnalisés : contactez notre équipe d'ingénierie commerciale en ligne pour soumettre vos dessins CAO 2D/3D pour une évaluation technique de 24 heures.

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