Dans des domaines de pointe tels que la nano-détection, la mesure de la vision, l'inspection des défauts des semi-conducteurs et l'interférométrie optique, le plan de référence des plates-formes d'inspection détermine directement la crédibilité des données pour l'ensemble du système de mesure. À mesure que la fabrication de précision progresse vers des échelles submicroniques et nanométriques, les plates-formes en pierre traitées par les techniques conventionnelles ne peuvent plus satisfaire aux exigences des tests de laboratoire haut de gamme et de l'inspection de la production de masse. De nombreux fabricants d'équipements ont découvert que même lorsqu'ils sont équipés de capteurs de mesure haut de gamme, des erreurs de mesure systématiques se produiront continuellement si le plan de référence de la plate-forme porteuse s'écarte. En conséquence, la construction de plates-formes d'inspection en granit avec une planéité nanométrique - est devenue un sujet de recherche clé pour de nombreuses entreprises d'équipement d'inspection de précision.
Une précision de planéité ultra-élevée ne peut pas être obtenue via un seul processus d'usinage. Ceci est accompli par la coordination du traitement des matières premières, du contrôle de l’environnement de production, du broyage progressif et de l’inspection de précision. La fenêtre de tolérance pour la précision à l’échelle nanométrique est extrêmement étroite ; toute négligence dans le processus entraînera des indicateurs de planéité insatisfaisants. La plupart des usines de traitement de pierre sur le marché ne possèdent qu'une capacité de traitement au niveau du micron- et ne disposent pas d'une capacité complète de contrôle de précision du processus-. Avec des années d'expérience spécialisée dans les composants personnalisés en granit d'ultra-précision, UNPARALLELED Group se concentre sur la prise en charge des équipements d'inspection haut de gamme-. Nous avons développé des solutions de fabrication complètes et matures pour les plates-formes de granit de qualité nanométrique, fournissant des solutions de plan de référence de haute précision stables à long terme -de haute{{12}aux fabricants d'équipements de mesure du monde entier.
Les matières premières constituent la condition préalable pour obtenir une planéité supérieure. Le granit ordinaire souffre d'une répartition inégale des grains et de minuscules microfissures naturelles, qui déclenchent facilement une déformation locale lors d'un usinage continu et d'un service à long terme. Nous adoptons du granit noir à haute densité -UNPARALLELED® auto-développé-avec des grains de roche densément et uniformément répartis. La pierre brute n'entrera pas dans la transformation directement après l'inspection à l'arrivée ; au lieu de cela, il subit un traitement de vieillissement segmenté. Le stockage statique prolongé libère les contraintes internes natives de la roche pour empêcher la déformation progressive de la plaque après la finition de l'usinage, évitant ainsi fondamentalement la dégradation de la planéité au fil du temps. Nous distinguons strictement le granit de qualité métrologique-du granit de qualité technique-et n'utilisons jamais de matériaux en pierre à faible-coût pour fabriquer des plates-formes d'inspection de haute-précision.
La technologie de meulage constitue la procédure de base pour obtenir une planéité à l'échelle nanométrique et marque la ligne de démarcation entre les ateliers de pierre ordinaires et les fabricants d'ultra-précision. Le polissage conventionnel peut simplement atteindre une précision au niveau du micron-. Pour atteindre les normes nanométriques, une procédure de broyage progressive en plusieurs étapes - est nécessaire. La plate-forme subit séquentiellement un meulage grossier, un meulage semi-de finition, un meulage fin et un polissage final d'ultra-précision. La taille des grains des abrasifs diminue progressivement pour éliminer les subtiles marques d'outils générées par les processus précédents. Toutes les opérations de finition sont effectuées dans un atelier de classe 10 000 à température constante et à humidité constante et sans poussière. L'atelier est équipé de fondations antivibratoires indépendantes-et de tranchées antivibratoires isolées-pour isoler au maximum les interférences vibratoires du trafic externe et des équipements de production, garantissant ainsi des conditions de meulage stables.
Plus la plate-forme en granit est grande, plus il est difficile de contrôler sa planéité. Pour les grandes plates-formes d'inspection intégrées, nous privilégions la technologie de formage monolithique afin d'éviter les différences de hauteur au niveau des joints causées par l'assemblage de plusieurs dalles. Conformément aux dessins du client, le traitement structurel comprenant les manchons filetés intégrés, les rainures de câblage, les rainures de référence de positionnement et les trous d'aspiration sous vide est effectué à l'avance. Tous les travaux de perçage et de rainurage sont effectués lors de l'ébauche. L'usinage post-induirait une variation de contrainte et endommagerait le plan fini d'ultra-précision. L'ensemble du flux de traitement est conforme aux normes de métrologie reconnues au niveau international DIN et ASME. Les plates-formes d'ultra-précision de grade 00 et grade 000 peuvent être personnalisées pour répondre aux exigences des clients.
Une inspection progressive complète s'étend sur l'ensemble du flux de production des plates-formes, plutôt qu'un simple échantillonnage aléatoire une fois terminé. Après chaque procédure de meulage, les techniciens revérifient la planéité à l'aide de niveaux de haute-précision importés et d'interféromètres laser. Tous les instruments de test détiennent des certificats d'étalonnage valides délivrés par des institutions de métrologie avec des données de mesure entièrement traçables. Une vérification finale complète est effectuée après la production. La pièce est maintenue immobile à température constante pour être observée pendant un certain temps. La livraison n'est organisée qu'après confirmation de l'absence de déformation évidente, garantissant que la plate-forme en granit fournie maintient une planéité nanométrique-au cours d'un fonctionnement à long-terme sur les sites des clients.
En tant que fabricant de composants de précision titulaire des triples certificats de système de gestion ISO et des qualifications CE et RoHS, nous possédons plus de 20 brevets et marques déposées au niveau international. Nous entretenons une coopération de projet à long terme-avec des entreprises leaders dans les secteurs des semi-conducteurs et de la mesure optique, ainsi qu'avec des laboratoires universitaires étrangers. Outre les plates-formes d'inspection en granit, nous pouvons fournir des plaques verticales d'axe Z-en granit de précision assorties, des supports en forme de L-, des bases de table rotative, des bases à coussin d'air-et d'autres pièces de rechange. Bénéficiant de notre proximité géographique avec le port de Qingdao, nous organisons efficacement l'expédition des conteneurs et raccourcissons les cycles de livraison pour les clients étrangers.
Les mesures à l’échelle nanométrique ne peuvent tolérer le moindre écart par rapport à la donnée de référence. UNPARALLELED adhère systématiquement à des normes rigoureuses de fabrication d'ultra-précision. Soutenus par des matières premières de première qualité, des flux de travail de traitement en boucle fermée{{3}et des systèmes d'inspection stricts en plusieurs étapes, nous continuons à fabriquer des plates-formes de référence en granit à haute stabilité-pour l'industrie mondiale de l'inspection de précision. Nous optimisons en permanence les techniques de traitement d'ultra-précision pour aider tous les types d'équipements d'inspection haut de gamme-à obtenir des performances de mesure stables et précises.